1、极低的蒸汽压这是真空泵油的重要性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10－4Pa（10－6mmHg），高的要求达到1.33×10－4Pa（10－6mmHg）以下，因此要求真空泵油的蒸发性极低．一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
2、合适的粘度良好的粘温特性真空系统利用泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。
3、良好的热氧化安定性真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，因此使油的热和氧化作用加剧。而扩散泵往往处于很高的环境温度下工作，真空泵油价格，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油有良好的热氧化安定性。
4、较高的闪点要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。
5、良好的抗腐蚀性与抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会腐蚀泵内金属零件与油发生化学变化。另外，机械真空泵油，吸入空气中往往
真空泵油优势
真空泵油具备非常低的蒸气压，真空泵油的指标，防止蒸发。具备水分离性较好的润滑作用。具备极强的耐热抗Y化作用。具备适宜的粘度，在低温下能使泵快速开启，在高温下有优良的密封性，在泵内具备较低的温升。主要用途，真空泵油主要用于多种容积机械真空泵的密封和润滑，真空泵油，及机械增压真空齿轮传动系统的润滑，也主要用于通常压缩机油不能满足高度真空的使用状况。
一、真空泵油的作用：
1、润滑：相对运动件间的润滑，降低磨损。
2、密封：防止大气进入排气阀，有相对运动零件间的间隙密封。
3、冷却：油在泵内与油箱间循环，散热、冷却。
4、携裹：将磨损产生的尘粒或其它颗粒挟裹在油中，减小磨损伤害。
5、保护：形成保护性油膜，避免水及化学蒸汽凝结物腐蚀泵内部件。
二、真空泵油的性能要求：
1、高温下饱和蒸汽压要低，易挥发成分要少。
2、低的水含量和吸水性。
3、要有一定粘度，且随温度变化小（粘度温升曲线平滑）。
4、润滑性能好，机械应力下具有良好的抗裂解性。
5、抗腐蚀、抗y化、化学性能稳定。
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